被测（参量/仪器/物质）
沟槽深度/台阶高度 d

序号
8
校准类别/校准参量
表面形貌
测量仪器型号/校准方法
干涉显微镜
测量等级-最小
0.1
测量等级-最大
40
测量等级-单位
μm
测量环境/影响量-参量
温度
测量环境/影响量-指标
20°C±1°C
扩展不确定度-数值
(6+30d), d in μm, 数值范围从 9 nm到 1200 nm
扩展不确定度-单位
nm
扩展不确定度-k=
2
扩展不确定度-置信概率
95%
扩展不确定度-（是/否）为Urel
否
编号
chandu_8
研究所
长度