纳米计量实验室

纳米计量实验室的主要职责是在微纳尺度研制我国的计量基标准装置，并建立纳米计量量值溯源与传递体系，统一全国微纳量值，实现量值的国际等效互认。实验室共建立有1项国家基准和10项社会公用计量标准，成功研制的大范围计量型纳米测量机、计量型原子力显微镜与计量型扫描电子显微镜等计量标准装置，从无到有的建立了我国纳米几何量值的量值源头。通过合作，成功研制并获批了多种纳米台阶与纳米栅格国家一级标准物质，填补了我国纳米几何结构标准物质的空白。为满足以集成电路产业为代表的先进制造业的需求，实验室形成了基于深紫外光学、电子束扫描与探针扫描的线宽计量能力，并正在开展晶圆标准片校准方法、薄膜材料微观结构测量技术与纳米材料微区成分和结构的拉曼测量和计量技术研究。随着SI单位的重新定义，新一代基于硅晶格常数的纳米量值传递体系正在建立。