检测对象
微纳样板

序号
3
项目/参数-序号
1
项目/参数-名称
深度测量标准
领域代码
30512
检测标准名称
产品几何量技术规范（GPS） 表面结构 轮廓法 测量标准 第1部分：实物测量标准 GB/T 19067.1-2003/ISO5436-1:2000 5.2, 6.1, 7.1, 7.2
说明
只测10nm~10um
备注
变更
编号
nami_6
研究所
纳米