仪器/样品名称
晶圆外延层厚度测量

仪器别名
外延厚度测量；外延层厚度测量；外延片厚度测量
规格型号
Bruker VERTEX 70v
不确定度
urel小于5%
测量范围
（0.2~200）μm
收费单位
小时
项目类型
测试
收费标准
2000
收费备注
2000元/小时，默认测试1个点，每增加1个点加收500元。
序号
28487
编号
28487
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