仪器/样品名称 仪器别名 规格型号 不确定度 准确度等级 最大允许误差 测量范围 收费单位 项目类型 收费标准(元) 收费备注 ID
18131 纳米级高精度位移传感器 / / / 参数 测试 5800 5800每轴两个参数，每增加一个参数加1200元 26848
18132 集成电路专用12英寸晶圆标准片（膜厚） 晶圆标准片（含2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸） 2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸 / / 片 校准 15706 每片15706元。 26849
18133 集成电路专用12英寸晶圆标准片（膜厚） 晶圆标准片（含2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸） 2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸 / / 片 测试 15706 26850
18134 集成电路专用12英寸晶圆标准片（台阶） 晶圆标准片（含2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸） 2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸 / / 片 校准 15605 26851
18135 集成电路专用12英寸晶圆标准片（台阶） 晶圆标准片（含2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸） 2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸 / / 片 测试 15605 26852
18136 集成电路专用12英寸晶圆标准片（栅格X方向） 晶圆标准片（含2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸） 2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸 / / 片 校准 28802 26853
18137 集成电路专用12英寸晶圆标准片（栅格X方向） 晶圆标准片（含2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸） 2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸 / / 片 测试 28802 26854
18138 集成电路专用12英寸晶圆标准片（栅格XY方向） 晶圆标准片（含2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸） 2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸 / / 片 校准 44940 26855
18139 集成电路专用12英寸晶圆标准片（栅格XY方向） 晶圆标准片（含2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸） 2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸 / / 片 测试 44940 26856
18140 集成电路专用12英寸晶圆标准片（栅格X方向5量值） 晶圆标准片（含2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸） 2英寸，4英寸，6英寸，8英寸，10英寸，12英寸 / / 片 校准 51698 26857